CN119619332A 一种洁净气体中超痕量离子污染物的检测方法 （上海微纳精迅检测技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119619332A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411537260.2

(22)申请日2024.10.31

(71)申请人上海微纳精迅检测技术有限公司

地址200444上海市宝山区山连路181号10

幢319室

(72)发明人刘蕊贺贤汉管方方王灿灿

王羚许丽萍

(74)专利代理机构上海申浩律师事务所31280

专利代理师陆叶

(51)Int.Cl.

G01N30/02(2006.01)

G01N1/22(2006.01)

G01N1/28(2006.01)

G01N1/34(2006.01)