集成电路EDA 课件8.1 工艺及器件仿真工具Sentaurus.pptx

;;目录;SentaurusTCAD概述;Sentaurus仿真流程;Workbench介绍与使用;SWB的工具特征;SWB的工具特征（续）;CreatingProjects（一）;CreatingProjects（二）;CreatingProjects（三）;CreatingProjects（四）;;;;MultipleExperiments（二）;MultipleExperiments（三）;;;;SentaurusProcess简介（二）;SentaurusProcess还收入了诸多近代小尺寸模型。这些当代的小尺寸模型主要有：

—高精度刻蚀模型及高精度淀