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静电放电发生器维护保养制度WI-ESD-003

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静电放电发生器维护保养制度

文件编号：WI-ESD-003

版本/版次：A/0

编制部门：设备部/品质部

生效日期：2026年08月24日

1目的

为规范静电放电（ESD）发生器的日常保养、定期维护、周期校准与故障维修管理，保持设备性能稳定、量值准确，延长使用寿命，特制定本制度。

2适用范围

本制度适用于公司所有ESD发生器及其配套接地参考平面、放电电极、校准装置等辅助设施。

3职责分工

3.1ESD管理员：负责设备台账、校准计划编制与实施跟踪、保养/维修记录归档。

3.2设备部：负责ESD发生器的定期维护保养、故障维修及内部技术验证。

3.3操作者：负责日常点检与使用后保养，及时报告设备异常。

3.4品质部：负责校准结果确认、量值溯源管理及记录审核。

4日常保养（每日/每次使用后）

a)关闭高压、关闭电源，拆除接地电缆并按规范收纳；

b)用干燥软布擦拭设备外壳及放电电极，保持电极清洁、无烧蚀；

c)检查电源线、放电电缆有无破损，电极固定是否牢固；

d)将设备置于干燥、通风、防尘的专用存放位置，做好5S；

e)填写《ESD发生器日常点检表》（FM-ESD-001）。

5定期维护（每月）

5.1由设备部按《ESD发生器维护保养记