集成电路EDA 课件8 第8章 TCAD.pptx

;;8.1;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;用于性能测试的器件结构模型可以由以下三种方式来建立：

1.调用工艺仿真器Athena进行器件制备工艺的仿真。

2.调用器件仿真器Atlas直接定义器件的结构模型。在考虑器件的工艺制备之前，这种方式对探究新型器件结构的可行性具有重要意义。

3.调用器件编辑器Devedit定义器件结构，这种方式与调用Atlas近似等价。;

将建立好的器件结构模型导入进Atlas中，改变浮栅晶体管电极上的电压偏置等条件，一方面可以输出相应条件下包含有器件电学、光学、热学等信息的str结构模型文件