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半导体芯片生产余热回收利用方案.docx

半导体芯片生产余热回收利用方案.docx

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    半导体芯片生产余热回收利用方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、半导体芯片生产余热回收利用目标与意义 3

    二、半导体制造工艺余热源深度分析 6

    三、晶圆制造厂典型工艺余热特征评估 9

    四、光刻设备冷却水余热回收技术路径 13

    五、刻蚀与清洗设备工艺废水余热利用 15

    六、烘烤与扩散炉设备余热收集方案 18

    七、厂房空调制冷系统余热回收技术 20

    八、动力机房空冷系统余热回收利用 25

    九、余热交换器技术选择与设备选型 27

    十、热泵技术在余热回收提升中的应用 30

    十一、余热回收系统热流程图设计与集成方案 32

    十二、余热

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