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芯片先进封装生产工艺手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、芯片先进封装概述与核心技术 4
二、先进封装关键材料特性与选用 8
三、晶圆减薄与背面处理标准工艺 11
四、微凸米转移技术与高精度对准工艺 14
五、重布布技术与布层制造工艺 17
六、硅通电孔TSV制造工艺 19
七、扇出型封装与晶扇技术工艺 22
八、晶圆集成2D层叠封装技术 25
九、2.5D异性集成封装方案与实施 30
十、3D中封装与Chiplet封装工艺 34
十一、高带宽互连与HBM封装技术 38
十二、先进键合工艺与微引线焊接技术 42
十三
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