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芯片先进封装生产工艺手册

目录TOC\o1-4\z\u

一、芯片先进封装概述与核心技术 4

二、先进封装关键材料特性与选用 8

三、晶圆减薄与背面处理标准工艺 11

四、微凸米转移技术与高精度对准工艺 14

五、重布布技术与布层制造工艺 17

六、硅通电孔TSV制造工艺 19

七、扇出型封装与晶扇技术工艺 22

八、晶圆集成2D层叠封装技术 25

九、2.5D异性集成封装方案与实施 30

十、3D中封装与Chiplet封装工艺 34

十一、高带宽互连与HBM封装技术 38

十二、先进键合工艺与微引线焊接技术 42

十三

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