GBT 46173-2025 电子气体 惰性稀有气体标准立项发展报告.docxVIP

电子气体惰性稀有气体标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGases—InertRareGases

摘要

电子气体是集成电路、显示面板、光伏电池、光纤制造等高新技术产业不可或缺的关键基础材料，被誉为集成电路的血液。其中，惰性稀有气体（包括氦气、氖气、氩气、氪气、氙气等）因其化学惰性和独特物理特性，在半导体刻蚀、离子注入、激光器、照明及航天等领域具有不可替代的作用。随着我国集成电路产业和高端制造业的快速发展，对电子级惰性稀有气体的纯度、杂质控制及检测方法提出了更高要求。然而，此前国内缺乏针对电子气体领域惰性稀有气体的统一国家标准，导致产品质量参差不齐、检测方法各异、国际贸易壁垒等问题。GB/T46173-2025《电子气体惰性稀有气体》于2025年10月5日正式发布，将于2026年5月1日起实施。本标准系统规定了电子工业用惰性稀有气体的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮存和运输等内容，填补了该领域国家标准的空白。本报告从立项背景、编制过程、标准主要内容、技术创新点及实施意义等方面进行全面阐述，以期为行业从业人员和相关方提供参考。

关键词

中文关键词：电子气体；惰性稀有气体；国家标准；半导体材料；纯度分析；杂质控制；标准化

EnglishKeywords:Electronicgase