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GB/T47506-2026洁净室微振动控制技术要求

目录

02

微振动控制要求

01

标准概述

03

测试与测量方法

04

设计实施指南

05

符合性评估

06

维护与改进

标准概述

01

适用范围与目的

高精度制造领域

本标准适用于半导体制造、精密光学、生物医药及纳米技术等对微振动环境敏感的行业，为其提供统一的技术规范和控制要求。

环境分级与检测

旨在填补国内在微振动环境分级与检测领域的标准空白，通过科学定义振动环境分类，为高敏感设施建设提供技术依据。

测量与数据处理

规定测量仪器的精度要求，细化数据处理流程，确保振动检测结果的准确性和可比性。

产业链安全保障

通过标准化微振动控制技术