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电子洁净厂房围护结构密封规范

我干洁净厂房施工和验收快二十年了，见过太多因为不起眼的密封问题导致的重大损失：有半导体制程车间因为一道两毫米的缝隙漏风，导致整批晶圆尘埃粒子超标直接报废，损失上千万；也有显示面板厂因为转角密封没做好，投产半年就达不到洁净要求，不得不停产整改耽误了量产窗口。电子行业对生产环境洁净度的要求越来越高，百级、十级甚至更高等级的洁净车间越来越多，而围护结构作为隔离污染、维持洁净区压差和洁净度的第一道也是最重要的一道防线，密封质量直接决定了整个厂房能不能达到设计要求，能不能稳定生产。今天我就结合这么多年的实操经验，把电子洁净厂房围护结构密封的相关规范整理清楚，给同行和业主做个