SJT 12052-2025 电子级乙硅烷标准立项发展报告.docxVIP

电子级乙硅烷标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeDisilane

摘要

电子级乙硅烷是集成电路、薄膜晶体管液晶显示器及光伏产业中化学气相沉积（CVD）工艺制备硅基薄膜的关键前驱体材料，其纯度直接决定沉积薄膜的电学性能与器件良率。随着我国半导体产业向先进制程快速推进，市场对电子级乙硅烷的需求持续增长，但长期以来该产品缺乏统一的行业标准，导致产品质量参差不齐、检测方法各异、贸易技术壁垒缺失。本标准（SJ/T12052-2025）由行业标准-电子领域发布，于2025年12月19日批准发布，2026年7月1日正式实施，归口分类为电子技术专用材料。本报告系统阐述了该标准的立项背景、编制原则、主要技术内容及实施意义。标准规定了电子级乙硅烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等要求，适用于集成电路、显示面板及光伏等领域用电子级乙硅烷的质量控制与验收。本标准的制定填补了国内电子级乙硅烷产品标准的空白，对规范市场秩序、促进技术创新、保障供应链安全具有重要的指导意义。

关键词：电子级乙硅烷；行业标准；化学气相沉积；半导体前驱体；标准化；电子技术专用材料

Keywords:Electronicgradedisilane;Industrystandard;Chemicalvapord