ISOTS 153382025 表面化学分析 - 辉光放电质谱 - 操作程序标准立项发展报告.docxVIP

表面化学分析辉光放电质谱操作程序标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—GlowDischargeMassSpectrometry—OperatingProcedures

摘要

辉光放电质谱（GD-MS）作为高灵敏度的固体材料直接分析技术，在金属、半导体、薄膜及核工业等高端材料领域具有不可替代的地位。其凭借高深度分辨率与宽元素覆盖范围的优势，已成为材料表面及深度剖析的关键表征手段。然而，该技术长期面临仪器操作流程参差不齐、定性定量结果可比性不足等制约发展的瓶颈问题。本标准立项发展报告以国际标准化组织（ISO）发布的ISO/TS15338:2025《表面化学分析辉光放电质谱操作程序》为研究对象，系统梳理了该标准的立项背景、关键技术内容、修订演变历程及其在相关行业的应用前景。报告重点剖析了标准中关于仪器参数优化、样品制备规范、质谱干扰识别与校正、定量分析方法等技术要点的规定，并详细介绍了主要参与单位——中国计量科学研究院（NIM）在标准研制中的技术贡献。该标准的发布实施将有效规范全球GD-MS实验室的操作流程，显著提升分析结果的准确性与可比性，对推动表面化学分析技术标准化、促进新材料研发与质量管控具有深远意义。未来，随着GD-MS技术在新能源、半导体等战略新兴