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洁净厂房设计规范.docx

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    洁净厂房设计规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、术语 10

    三、基本规定 12

    四、厂址选择与总平面布置 15

    五、工艺布局与洁净分区 18

    六、建筑设计 20

    七、洁净室环境参数 24

    八、空气净化与气流组织 29

    九、通风与空调系统 34

    十、给水排水设计 37

    十一、气体与化学品供应 41

    十二、电气与照明设计 45

    十三、自动控制与监测 49

    十四、消防与安全疏散 52

    十五、节能与环境保护 54

    十六、施工质量与工程验收 58

    十七、运行维护与管理 61

    总则

    目的

    本规范旨

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