半导体器件——微机电器件——第4部分：MEMS总规范 标准立项发展报告.docx

半导体器件——微机电器件——第4部分：MEMS总规范标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part4:GenericspecificationforMEMS

摘要

随着物联网、人工智能、5G通信及生物医疗等前沿技术的迅猛发展，微机电系统（MEMS）作为感知物理世界与执行精密动作的核心硬件基础，其产业规模持续扩大，应用场景不断深化。为了保障MEMS产品的质量可靠性、互换性与兼容性，国际电工委员会（IEC）制定了IEC