一种基于虚拟牛顿环的曲率半径检测仿真模型.docx

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摘要：球面光学元件的曲率半径是其重要的光学结构参数之一，决定着球面元件的焦距，进而影响着光学系统的性能。因此，对球面光学元件曲率半径的高精度测量是光学冷加工过程中和光学测量中的重要环节。目前曲率半径测量方法大多采用非接触式测量，其因测量速度快且结果精度较高，对被测光学元件表面不会造成损伤，尤其适合测量镀膜的光学元件而得到广泛好评。本文基于斐索平面干涉检测方法，以激光牛顿环法为基础，结合计算机仿真技术，建立基于虚拟牛顿环的检测模型，对圆载频莫尔条纹进行处理，研究大曲率半径(10m~无穷)高精度测量方法并求解出仿真样品曲率半径的一维分布结果。

关键词：曲率半径，非接