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PVD溅射靶材背板冷却水道检查安全技术规范

一、检查作业基本要求

（一）人员资质要求

参与PVD溅射靶材背板冷却水道检查的作业人员，必须具备机械维修或设备维护相关专业背景，且经过PVD设备操作及安全专项培训并考核合格，取得相应的作业资质证书。作业人员需熟悉PVD溅射设备的整体结构、冷却水道的布局走向、设备电气控制系统原理以及常见故障的排查方法。同时，作业人员应掌握基本的安全防护知识，能正确使用各类防护用具，具备应对突发安全事故的应急处置能力。

（二）作业环境要求

检查作业需在设备停机并完全断电的状态下进行，设备电源开关处应悬挂“禁止合闸，有人作业”的警示标识，必要时安排专人值守。作业区域应保持整洁，无积水、油污及杂物堆积，确保作业通道畅通。环境温度应控制在10℃-30℃之间，相对湿度不超过70%，避免因环境湿度过高导致电气部件受潮短路。此外，作业区域需配备充足的照明设备，保证照明亮度满足检查作业的视觉需求，局部检查部位可使用便携式照明工具辅助照明。

（三）工具与设备要求

作业前需准备齐全专用的检查工具，包括内窥镜、压力表、流量测试仪、测温仪、扳手、螺丝刀等。所有工具应进行检查校准，确保其精度和功能正常，例如压力表的量程应与冷却水道的工作压力相匹配，误差不超过±2%；流量测试仪应能准确测量不同流速范围的冷却水流量。同时，需准备好必要的安全防护用具，如绝缘手套、护目镜、安全帽、防滑