原创力文档碳化硅硬脆材料滚磨定向工艺中热损伤抑制机制与设备迭代
目录
TOC\o1-3\h\z\u15439摘要 3
2096一、碳化硅硬脆材料滚磨工艺研究背景与产业需求分析 5
241391.1碳化硅材料特性与硬脆加工技术挑战 5
72211.2滚磨定向工艺在半导体产业链中的应用地位 7
65191.3行业政策导向与终端市场需求驱动因素 9
21917二、滚磨工艺中热损伤形成机理研究 12
150022.1摩擦界面接触力学与摩擦热生成机制 12
245222.2热传导路径与工件温度场时空演化规律 14
211052.3热损伤对碳化硅材料
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