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特种气体管理制度

1总则

1.1目的与依据为规范本单位特种气体全生命周期安全管理，防范泄漏、中毒、窒息、燃烧、爆炸等生产安全事故，保障从业人员生命安全、财产安全及生态环境安全，依据《中华人民共和国安全生产法》《危险化学品安全管理条例》《气瓶安全技术规程》（TSG23-2021）《危险化学品重大危险源辨识》（GB18218-2018）《建筑设计防火规范》（GB50016-2014，2018年版）《工作场所有害因素职业接触限值第1部分：化学有害因素》（GBZ2.1-2019）等国家现行法律法规、标准规范，结合本单位半导体材料生产、研发过程特种气体使用实际，制定本制度。

1.2适用范围本制度适用于本单位采购、运输、装卸、储存、输送、使用、检验、废弃处置全流程涉及的特种气体管理，涵盖六大类47种在用特种气体：一是电子级高纯气体（纯度≥99.999%的氩、氦、氮、氢、氧等，共8种）；二是剧毒/高毒气体（砷烷、磷烷、乙硼烷、氯气、一氧化碳、硫化氢等，共11种）；三是易燃易爆气体（硅烷、乙炔、甲烷、乙烯、丙烷、氢气、环氧乙烷、硅烷混合气等，共13种）；四是氧化性气体（一氧化二氮、三氟化氮、氧气、压缩空气等，共6种）；五是腐蚀性气体（氯化氢、氟化氢、三氯化硼、氨气、氯气等，共7种）；六是窒息性气体（氮气、氩气、氦气、六氟化硫、二氧化碳等，共2种）。本制度不适用于城镇燃气、民用液