ISO 9803-2：2020 真空技术管道配件的安装尺寸第2部分刀口法兰型标准立项发展报告.docx

真空技术管道配件的安装尺寸第2部分：刀口法兰型标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Vacuumtechnology—Mountingdimensionsofpipelinefittings—Part2:Knife-edgeflangetype

摘要

真空技术是集成电路制造、平板显示、粒子加速器、空间环境模拟及高端科学仪器等领域的关键支撑技术，其中超高真空系统的可靠密封直接决定系统的极限真空度与工艺稳定性。刀口法兰（Knife-edgeflange，行业俗称CF法兰）采用金属垫圈与