ISO 9803-1：2020 真空技术管道配件的安装尺寸第1部分非刀刃法兰型标准立项发展报告.docx

真空技术管道配件的安装尺寸第1部分：非刀刃法兰型标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—MountingDimensionsofPipelineFittings—Part1:NonKnife-edgeFlangeType

标准基本信息：标准编号：ISO9803-1:2020；发布机构：国际标准化组织（ISO）；发布日期：2020年1月7日；标准状态：现行有效；归口技术委员会：ISO/TC112（真空技术）；语种：英文。

摘要

真空技术是半导体制