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高纯气体的配管及材质
1．高纯气体管路的设计要点：
（1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气
体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气
体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/
腐蚀性气体区。
（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理
根据用气设备的分布况高纯气体的管网不宜过大或者过长宜采用不封闭的环形管路
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高纯气体的配管及材质
1．高纯气体管路的设计要点：
（1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气
体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气
体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/
腐蚀性气体区。
（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理
根据用气设备的分布况高纯气体的管网不宜过大或者过长宜采用不封闭的环形管路
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