扫描电子显微镜技术详解课件PPT教案.pdfVIP

第一章电子显微镜

电子显微镜的发展史

1938年，德国工程师

MaxKnoll和Ernst

Ruska制造出世界

上第一台透射电子显

微镜(TEM)。

MaxKnoll(1897-1969)ErnstRuska(鲁卡斯)(1906-1988)

1952年，英国工程师Charles

Oatley（查尔斯奥特利）制造出

第一台扫描电子显微镜(SEM)。

CharlesOatley

电子显微镜下的蚊子

电子显微镜基本原理

一、电子束及电镜

光学显微镜分辨率0.2微米，可把物体放大到0.2毫米，

放大倍数1000倍。

光学显微镜是利用光学原理，把人眼所不能分辨的微小物体放大成像，

供人们提取微细结构信息的光学仪器。

20世纪20年代发现电子流→电磁波，波长λ比光波短10

万倍。1932年德国第一台电子显微镜，分辨率比光学显微

镜提高5倍