原创力文档应用说明和协议：六氟化钨（WF6）在集成电路制造中的关键作用 Application Notes Protocols The Pivotal Role of Tungsten Hexafluoride (WF6) in the Fabrication of Integrated Circuits.pdfVIP
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- 2026-10-10 发布于广东
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ApplicationNotesProtocols:ThePivotalRole
ofTungstenHexafluoride(WF6)inthe
FabricationofIntegratedCircuits
Author:BenchChemTechnicalSupportTeam.Date:May2026
CompoundofInterest
CompoundName:Tungstenhexafluoride
CASNo.:7783-82-6
Cat.No.:B1630381
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