SJT 12213-2026 《电子级二氯二氧化钼》标准化项目立项发展报告.docx

SJ/T12213-2026《电子级二氯二氧化钼》标准化项目立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeMolybdenumDichlorideDioxide

摘要

随着半导体制造工艺向原子级尺度持续演进，以二氯二氧化钼（MoO?Cl?）为代表的新型高纯金属前驱体材料，成为制备超薄钼基薄膜、二维过渡金属硫化物及先进互连阻挡层的核心原料，对提升芯片性能与集成度具有重要的战略价值。目前，我国尚缺乏针对电子级二氯二氧化钼的专项标准，导致产品质量参差不齐，高端应用长期依赖进口，严重制约了产业链的自主可控发展。本报告基于我