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表面化学分析 二次离子质谱 氩团簇溅射有机材料深度剖析中产额体积的测定方法编制说明.pdfVIP

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  • 2026-10-09 发布于上海
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表面化学分析 二次离子质谱 氩团簇溅射有机材料深度剖析中产额体积的测定方法编制说明.pdf

    ICS71.040.40

    GB/TXXXXX—XXXX/ISO22415:2019

    表面化学分析二次离子质谱氩团簇溅

    射有机材料深度剖析中产额体积的测定

    方法

    Surfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—Method

    fordeterminingyieldvolumeinargonclustersputterdepth

    profilingoforganicmaterials

    （ISO22415:2019，IDT）

    （征求意见稿）

    （本草案完成时间：2026-09-14）

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    XXXX-XX-XX发布

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