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MEMS多轴传感器标定SOP.docx

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    MEMS多轴传感器标定SOP

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、适用范围 7

    三、术语与定义 9

    四、人员资质要求 11

    五、设备与工具要求 13

    六、被测传感器接收与核查 15

    七、标定前准备工作 18

    八、初始性能检测 20

    九、多轴静态标定方法 22

    十、多轴动态标定方法 25

    十一、温度特性标定方法 29

    十二、交叉轴干扰标定 31

    十三、零偏稳定性标定 36

    十四、灵敏度一致性标定 39

    十五、标定数据处理与系数计算 43

    十六、校准后性能验证 46

    十七、标定合格判定准则

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