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MEMS磁传感器工艺技术规范.docx

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    MEMS磁传感器工艺技术规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、术语与定义 13

    三、工艺总体要求 17

    四、衬底材料准备要求 19

    五、光刻工艺技术要求 22

    六、薄膜沉积工艺规范 24

    七、刻蚀工艺技术要求 27

    八、离子注入掺杂规范 30

    九、磁敏感结构制备工艺 32

    十、微机械结构加工工艺 35

    十一、金属互连工艺规范 38

    十二、钝化保护层制备工艺 42

    十三、晶圆减薄抛光工艺 47

    十四、晶圆划片与裂片工艺 49

    十五、芯片贴装前处理工艺 51

    十六、引线键合工艺规范 53

    十

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