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MEMS传感器质量管控规范
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一、规范适用范围 4
二、术语与定义 6
三、质量管理体系要求 11
四、设计开发质量管控 13
五、原材料进场质量管控 16
六、晶圆制造质量管控 19
七、芯片封装质量管控 22
八、传感器测试验证管控 24
九、成品出厂质量管控 27
十、可靠性试验管控 30
十一、失效分析管控 32
十二、存储运输质量管控 35
十三、售后质量管控 37
十四、质量管控人员要求 39
十五、生产设备管控要求 42
十六、工艺参数管控要求 43
十七、环
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