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MEMS传感器读出电路设计.docx

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    MEMS传感器读出电路设计

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、MEMS传感器读出电路概述 4

    二、MEMS传感器的分类与特性 6

    三、读出电路核心性能指标要求 10

    四、电容式MEMS传感器读出原理 14

    五、压阻式MEMS传感器读出原理 16

    六、热导式MEMS传感器读出原理 18

    七、读出电路架构选型原则 21

    八、前置缓冲与阻抗变换电路设计 23

    九、电容检测型前置放大电路设计 26

    十、压阻检测型信号调理电路设计 29

    十一、热式传感器测温接口电路设计 32

    十二、斩波稳零低噪声放大技术应用 35

    十三、ΣΔ

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