《碲化锌靶材标准》.docxVIP

1

碲化锌靶材

1范围

本文件规定了碲化锌靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于碲化锌粉末加工成型后经高温气氛烧结形成的材料，主要应用于磁控溅射制备应用于太阳能电池、光电器件的碲化锌镉薄膜。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T39160薄膜太阳能电池用碲锌镉靶材

GB/T5121铜及铜合金化学分析方法

GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判断

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检测方法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4技术要求

4.1化学成分

4.1.1杂质成分

碲化锌靶材的杂质成分应符合表1的规定。

表1碲化锌靶材杂质成分

碲化

锌含量

杂质含量，不大于(×10-4）%

99.

999%

Ag

Al

B

Bi

Ca

Cr

Fe

Mg

Mn

Na

Ni

Pb

Se

Si

Sn

Cd

总和

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1

1