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固态电解质的薄膜化制备研究综述

固态电解质是全固态锂电池的核心组件，其离子电导率、界面相容性、机械强度等性能直接决定电池的能量密度、循环寿命与安全性能。相较于块体固态电解质，薄膜化固态电解质具有厚度可控、均匀性好、界面接触紧密等优势，是实现微型储能器件、柔性电子供电系统与高能量密度薄型电池的关键材料。近年来，随着可穿戴设备、物联网节点与新能源汽车产业的快速发展，针对固态电解质薄膜制备技术的研究不断深入，各类新工艺、新改性方法层出不穷，推动固态电解质薄膜的综合性能逐步接近商业化应用要求。

一、固态电解质薄膜的主流制备技术

目前固态电解质薄膜的制备方法可分为物理气相沉积、化学气相沉积、溶液法制备与先进成型技术四大类，不同工艺在材料适用性、生产成本、规模化潜力方面存在显著差异，适用于不同的应用场景。

（一）物理气相沉积技术

物理气相沉积（PVD）是最早实现工业化应用的固态电解质薄膜制备技术，主要包括磁控溅射、脉冲激光沉积（PLD）、真空热蒸发等工艺。磁控溅射技术通过高能粒子轰击靶材，使靶材原子沉积在衬底表面形成均匀薄膜，可制备硫化物、氧化物、卤化物等多种类型的固态电解质薄膜，薄膜致密度可达99%以上，室温离子电导率接近块体材料。韩国汉阳大学团队采用射频磁控溅射法制备的LiPON薄膜厚度可低至50nm，室温离子电导率为2.3×10-6S/cm，界面阻抗仅为块体LiPON的1/5，已成功应