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碳化硅离子注入机技术要求.pdfVIP

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  • 2026-10-11 发布于河南
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碳化硅离子注入机技术要求.pdf

    ICS31.550

    CCSL97

    团体标准

    T/CAEEXXXX—2026

    碳化硅离子注入机技术要求

    Technicalrequirementsforsiliconcarbideionimplantation

    equipment

    （征求意见稿）

    在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

    2026-XX-XX发布2026-XX-XX实施

    中国电子装备技术开发协会  发布

    T/CAEEXXXX—

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