半导体工艺制造试题及答案
一、单项选择题(本大题共20小题,每小题1分,共20分)
1.在半导体制造中,光刻工艺的核心作用是()。
A.将电路图案从掩模版转移到晶圆上
B.提升晶圆的导电性能
C.材料的沉积与蚀刻
D.晶圆的清洗与干燥
解析:光刻工艺是半导体制造中的关键步骤,通过曝光和显影将掩模版上的电路图案精确地转移到晶圆表面,形成微纳尺度结构。选项A正确描述了光刻的核心功能,而其他选项分别涉及材料处理、电学性能优化和表面处理等非光刻工艺范畴。
2.在离子注入工艺中,提高注入能量的主要目的是()。
A.增加离子在晶圆表面的
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