YST 1740-2025 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法标准立项发展报告.docx

电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:EvaluationMethodforChemicalVaporDepositionofElectronic-GradeTrichlorosilane

标准编号：YS/T1740-2025｜标准性质：推荐性行业标准｜归口单位：全国有色金属标准化技术委员会｜发布日期：2025年4月10日｜实施日期：2025年11月1日｜标准状态：现行

摘要

三氯氢硅（SiHCl?）是半导体硅外延、高纯多晶硅制备及碳化硅涂层等化学气相沉积（CVD）工