不同电极材料AlN基3D-MSM紫外探测器设计与仿真分析.pdfVIP

2026年第45卷第3期传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)101

DOI:10.13873/J.1000-9787(2026)03-0101-05

不同电极材料AIN基3D-MSM紫外探测器设计与仿真分析*

李滔1，²，饶浩勇，宋文青

(1.邵阳学院机械与能源工程学院，湖南邵阳422000；

2.高效动力系统智能制造湖南省重点实验室，湖南邵阳422000；

3.湖南工学院智能制造与机械工程学院，湖南衡阳421002）

摘要：金属-半导体-金属（MSM)紫外探测器在紫外杀毒、光纤通信、导弹追踪、航空航天等方面具有广

泛的应用。根据传统MSM紫外探测器