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洁净排风系统工艺设计手册

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 2

二、系统设计基本规定 4

三、洁净室排风需求分类 7

四、排风系统形式选择 11

五、排风风量计算方法 15

六、风压平衡与管路设计 19

七、排风处理设备选型 23

八、排放浓度限值与达标要求 26

九、排风气流组织设计 29

十、噪声与振动控制措施 34

十一、管道防腐与防护要求 36

十二、系统监测与自动控制 38

十三、施工安装质量要求 41

十四、系统调试与运行管理 44

十五、节能设计与优化措施 47

十六、安全防护与应急处

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