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洁净排风系统工艺设计手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 2
二、系统设计基本规定 4
三、洁净室排风需求分类 7
四、排风系统形式选择 11
五、排风风量计算方法 15
六、风压平衡与管路设计 19
七、排风处理设备选型 23
八、排放浓度限值与达标要求 26
九、排风气流组织设计 29
十、噪声与振动控制措施 34
十一、管道防腐与防护要求 36
十二、系统监测与自动控制 38
十三、施工安装质量要求 41
十四、系统调试与运行管理 44
十五、节能设计与优化措施 47
十六、安全防护与应急处
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