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X射线光电子能谱检验规范

1范围

本规范规定了X射线光电子能谱（X-rayPhotoelectronSpectroscopy，以下简称XPS）检验的术语定义、设备要求、样品制备、检验操作流程、数据处理与分析、结果报告及安全防护要求。本规范适用于固体材料表面元素定性、定量分析，元素化学价态鉴别，表面深度分布分析等检验场景，涵盖无机材料、有机高分子材料、半导体材料、涂层与薄膜材料、催化材料等领域的科研及工业检验需求。本规范不适用于气体、易挥发性液体及放射性样品的XPS检验，此类样品检验需结合特殊定制设备及防护方案另行制定规范。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T22461-2008表面化学分析词汇GB/T30704-2014表面化学分析X射线光电子能谱分析通则GB/T32565-2016表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法ISO15472:2019表面化学分析X射线光电子能谱仪器性能校验方法

3术语和定义

GB/T22461-2008界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1X射线光电子能谱：利用单色X射线照射样品表面，激发原子内层或价层电子，通过测量光电子的动能与能