SEMI F61-24 半导体超纯水系统设计与运行指南（中文版详细解读）.docxVIP

SEMIF61-24半导体超纯水系统设计与运行指南（中文版详细解读）

版权声明：SEMI原版英文标准为付费版权文档，本文为SEMIF61-24核心内容编译解读稿，仅用于工厂内审、工程培训、UPW系统SOP编写；客户正式审核、体系取证、项目招投标时，必须采购SEMI官方原版英文正本。

配套标准组合：SEMIF61（系统设计与运行）+SEMIF63（UPW水质指标）+SEMIF75（水质监测方案），三者成套使用；材料选型配套SEMIF57高纯高分子组件规范。

前言

SEMIF61-24全称：GuidetoDesignandOperationofaSemiconductorUltrapureWaterSystem，是半导体晶圆厂超纯水（UPW）及高温超纯水（HUPW）系统工程层面的纲领指南。SEMIF63定义水质指标、SEMIF75定义监测方案，而SEMIF61负责从原水预处理、主纯化、抛光、管网分配、机台接驳、施工验收、调试验证、运维、冗余设计全生命周期进行规范。

本标准覆盖新建、改造升级UPW/HUPW系统，指导设备选型、管路材质、系统冗余、施工安装、系统冲洗、认证调试、日常运维、故障管理、安全设计。

适用范围：半导体晶圆湿法清洗、药液稀释、工艺冷却用超纯水系统，包含常温UPW、高温超纯水HUPW