SEMI F104-2023 超纯水及液态化学品分配系统组件颗粒析出评估测试方法（中文版详细解读）.docxVIP

SEMIF104-2023超纯水及液态化学品分配系统组件颗粒析出评估测试方法（中文版详细解读）

重要勘误说明：很多资料误将SEMIF104归类为高纯气体管道材料规范，SEMIF104并不是气体管道选材规范。

标准全称：SEMIF104-2023TestMethodforEvaluationofParticleContributionofComponentsUsedinUltrapureWaterandLiquidChemicalDistributionSystems，中文：超纯水及液态化学品分配系统组件颗粒析出评估测试方法，用于评估UPW/药液管路零部件释放颗粒的试验方法。高纯气体管道材料选型标准是SEMIF20、SEMIF105。

版权声明：SEMI原版英文标准为付费版权文档，本文为SEMIF104-2023核心编译解读稿，仅用于工厂内审、供应商材料认证、工程培训、SOP编写；客户正式审核、体系取证、招投标，必须采购SEMI官方原版英文正本。

配套关联标准：SEMIF57（高纯高分子材料规范）、SEMIF61（UPW系统设计运行）、SEMIF75（UPW水质监测）、SEMIC79（亚15nm过滤器评估）。

前言

SEMIF104是半导体液体输送系统零部件颗粒析出的标准化测试方法。在超纯