CN119380871A 基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法 （中国电子科技集团公司第四十八研究所）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119380871A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411486115.6

(22)申请日2024.10.23

(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研

究所

地址410111湖南省长沙市天心区新开铺

路1025号

(72)发明人周亚林

(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通

合伙)43008

专利代理师廖元宝

(51)Int.Cl.

G16C20/70(2019.01)

C30B19/10(2006.01)

G16C20/10(2019.01)

G06N20/00(2019.01)