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干式洁净室技术要求

1范围

本文件规定了干式洁净室及相关受控环境的干式洁净室分类、节能、压差控制、净化除湿空调、静

电控制、消防的技术要求。

本文件适用于干式洁净室及相关受控环境。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T50155-2015供暖通风与空气调节术语标准

GB/T33555-2025洁净室及相关受控环境静电控制技术要求

GB/T36066-2025洁净室及相关受控环境检测技术要求与应用

GB/T36527-2018洁净室及相关受控环境节能指南

GB50073-2013洁净厂房设计规范

3术语和定义

GB/T25915.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

洁净室cleanroom

空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式使房间内进入的、产生的、滞留的粒子最少，房

间内温度、湿度、