GBT 45856-2025 真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度 标准立项发展报告.docx

真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Specifications,calibrationandmeasurementuncertaintiesforPiranigauges

摘要

皮拉尼真空计作为低真空至中真空区间应用最为广泛的真空测量仪器之一，在半导体制造、航空航天、冶金化工、薄膜沉积及科研实验等领域发挥着不可替代的作用。随着我国高端制造业和前沿科学研究的快速发展，对皮拉尼真空计的测量准确性、校准规范性和