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硅材料生产与加工技术手册

1.第1章硅材料的制备与提纯

1.1硅原料的获取与处理

1.2硅的提纯工艺

1.3硅材料的制备技术

1.4硅材料的纯度控制

1.5硅材料的表面处理

2.第2章硅材料的制备工艺

2.1硅单晶生长技术

2.2硅片的切割与研磨

2.3硅片的抛光与清洗

2.4硅片的表面处理技术

2.5硅材料的封装与保护

3.第3章硅材料的加工技术

3.1硅材料的刻蚀与蚀刻工艺

3.2硅材料的化学气相沉积

3.3硅材料的光刻与沉积技术

3.4硅材料的热处理与退火

3.5硅材料的加工设备与工具

4.第4章硅材料的检测与质量控制

4.1硅材料的检测方法

4.2硅材料的电学性能测试

4.3硅材料的光学性能测试

4.4硅材料的机械性能测试

4.5硅材料的质量控制标准

5.第5章硅材料的表面处理技术

5.1硅材料的表面钝化

5.2硅材料的表面氧化

5.3硅材料的表面改性

5.4硅材料的表面涂层技术

5.5硅材料的表面清洁工艺

6.第6章硅材料的封装与保护