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全球半导体材料第三代半导体技术突破.docx

全球半导体材料第三代半导体技术突破.docx

    全球半导体材料第三代半导体技术突破范文参考

    一、全球半导体材料第三代半导体技术突破

    1.1材料体系创新

    1.1.1碳化硅材料的技术突破

    1.1.2氮化镓材料的技术优势

    1.1.3氧化镓等新兴材料的技术潜力

    1.2衬底材料的质量提升

    1.2.1碳化硅衬底缺陷控制技术

    1.2.2氮化镓衬底缺陷控制技术

    1.3器件结构创新

    1.3.1碳化硅MOSFET器件的垂直结构

    1.3.2氮化镓器件的横向结构

    1.4制造工艺的突破

    1.4.1碳化硅器件的加工工艺

    1.4.2氮化镓器件的加工工艺

    1.5产业生态的构建

    1.5.1全球技术集群

    1.5.2中国的加速追赶

    1.5.3产

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