工艺测试中的数据记录与保存规范.docxVIP

第PAGE页共NUMPAGES页

2026年工艺测试中的数据记录与保存规范

一、单选题（共5题，每题2分）

1.在半导体工艺测试中，对于关键工艺参数的记录，以下哪种方式最能保证数据的长期可追溯性？

A.仅使用电子表格进行记录

B.采用带时间戳的专用工艺数据库系统

C.手写记录在纸质台账上，定期扫描存档

D.将数据备份到个人电脑的本地文件夹

2.根据《半导体制造行业数据保存规范》（2026版），工艺测试数据的最短保存期限为多少年？

A.2年

B.5年

C.10年

D.15年

3.在工艺测试过程中，若发现某批次产品的一致性数据异常，正确的处理方式是？

A.立即删除该批次数据，避免影响整体报告

B.在数据记录中标注异常情况，并附上详细分析说明

C.将异常数据单独存档，但不在主报告中提及

D.由测试人员自行判断是否需要上报

4.对于涉及高精度测量（如原子层沉积ALD）的工艺测试，以下哪种记录工具更符合数据完整性要求？

A.普通温度计（非数字式）

B.带自动记录功能的智能传感器

C.手动填写的数据表单

D.使用手机摄像头拍摄读数后上传

5.工艺测试数据保存时，若采用云存储服务，以下哪项措施最能降低数据泄露风险？

A.仅使用免费云存储平台

B.对敏感数据进行加密处理，并设置多因素认证

C.将所有数据压缩成一个ZIP文件后上传

D.