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微束分析——分析电子显微镜——高分辨透射电子显微镜点分辨率的测定程序标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Microbeamanalysis—Analyticalelectronmicroscopy—Proceduresfordeterminingthepointresolutionofhigh-resolutiontransmissionelectronmicroscope

摘要

随着纳米科学与材料科学的飞速发展，高分辨透射电子显微镜（HRTEM）已成为表征材料原子级结构与缺陷的核心工具。然而，长期以来，HRTEM点分辨率的测定缺乏统一的国际标准，导致不同实验室之间仪器性能参数缺乏可比性，严重制约了材料微观结构数据的可靠互换与共享。国际标准化组织微束分析技术委员会（ISO/TC202）为应对这一全球性技术需求，启动了ISO25387-2026《微束分析——分析电子显微镜——高分辨透射电子显微镜点分辨率的测定程序》的制定工作。该标准由我国相关权威研究机构主导起草，联合国际多国专家共同完成。标准规定了利用数字化晶格像进行傅里叶变换分析、进而测定点分辨率的统一程序，明确了测试条件、校准方法及结果表达要求。本报告全面梳理了该标准的立项背景、关键技术内容、研制历程及其对材料科学、半导体工业及纳米计量