拓荆科技(688072)薄膜沉积设备龙头，收购无锡尚积加速平台化升级.docxVIP

2026年07月12日

拓荆科技（

拓荆科技（688072.SH）

薄膜沉积设备龙头，收购无锡尚积加速平台化升级

拓荆科技是国内薄膜沉积设备龙头，围绕薄膜沉积与三维集成两大方向持续拓展产品矩阵，已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、FlowableCVD等薄膜沉积设备产品，并布局先进键合设备及配套量检测设备。公司设备已在国内逻辑芯片、存储芯片等主流集成电路制造产线实现规模化导入与广泛应用，订单及收入快速增长。公司拟收购无锡尚积，补齐PVD与刻蚀特色工艺设备能力，有望进一步完善薄膜沉积设备矩阵，并强化三维集成领域成套设备交付能力。给予强烈推荐评级。

o薄膜沉积设备龙头，PECVD基本盘稳固，ALD与三维集成设备加速放量。公司围绕高端半导体专用设备持续布局，核心产品覆盖PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、FlowableCVD等薄膜沉积设备，以及晶圆对晶圆混合键合、晶圆对晶圆熔融键合、芯片对晶圆混合键合等三维集成设备。PECVD是公司收入核心来源，ALD、沟槽填充及三维集成设备持续拓展，产品结构正由单一优势品类向多技术路线协同驱动升级。

o收入快速增长，利润弹性释放，订单储备充足。2025年公司实现营业收入65.19亿元，同比+58.87%；其中PECVD实现销售收入约51.42亿元，同比+75.27%