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2026中国碳化硅衬底制备技术突破与成本下降路径报告.docx

2026中国碳化硅衬底制备技术突破与成本下降路径报告.docx

    2026中国碳化硅衬底制备技术突破与成本下降路径报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 3

    一、碳化硅衬底行业概述与2026年战略意义 5

    1.1碳化硅衬底的定义与分类 5

    1.22026年中国碳化硅衬底市场规模与增长预测 9

    二、碳化硅衬底制备核心工艺技术现状 13

    2.1物理气相传输法(PVT)技术成熟度分析 13

    2.2液相法(LPE)技术进展与挑战 15

    三、2026年关键技术突破方向预测 19

    3.18英寸衬底量产技术攻关 19

    3.2缺陷密度控制的下一代技术 24

    四、核心设备国产化与供应链安全

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