电子显示玻璃蚀刻减薄设备技术要求 标准立项发展报告.docx

电子显示玻璃蚀刻减薄设备技术要求标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:TechnicalRequirementsforEtchingandThinningEquipmentofElectronicDisplayGlass

【摘要】

随着新型显示产业向超薄化、柔性化和高集成化方向发展，显示玻璃基板与盖板玻璃的减薄加工已成为面板制造中的关键工序。化学蚀刻减薄技术以效率高、加工应力小、适应大尺寸和异形玻璃加工等优势，逐步成为行业主流技术路线，蚀刻减薄设备随之成为显示产业链上游的核心装备。长期以来，高端蚀刻减薄设备主要依赖进口，