CN118969594A 一种等离子体处理设备及方法 （中微半导体(上海)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118969594A

(43)申请公布日2024.11.15

(21)申请号202411465006.6

(22)申请日2024.10.18

(71)申请人中微半导体（上海）有限公司

地址201309上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区江山路4168号

(72)发明人田宁尹志尧叶如彬

(74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

公司31323

专利代理师张俊珏张静洁

(51)Int.Cl.

H01J37/32(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书3页说明书12页附图10