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光刻胶材料质量管控规范.docx

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    光刻胶材料质量管控规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 4

    二、术语和定义 5

    三、产品分类与规格 7

    四、质量管理原则 10

    五、质量目标与要求 12

    六、供应商管理 15

    七、原辅材料控制 18

    八、来料检验与验收 20

    九、取样与留样管理 22

    十、检验方法与设备 25

    十一、关键质量指标 30

    十二、生产过程控制 32

    十三、洁净环境与污染控制 36

    十四、包装与标识管理 38

    十五、储存与运输管理 40

    十六、产品放行管理 43

    十七、不合格品控制 45

    十八、变更控制 4

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